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정밀가공사업



반도체 D램과 플래쉬메모리 생산에 필요한 설비
CVD (LPCVD , MOCVD) , Etcher 장비(설비)에 장착되는 가공품
  • Chamber (L/L , TM , PM)
  • LID
  • Shower head
  • Gas Box
  • 텅스텐 제품
  • 기타가공품류